11:15 AM - 11:30 AM
[20a-E201-9] UV Detection Properties of NiO/β-Ga2O3 Heterojunction Photodiodes
Keywords:Ga2O3, NiO, photodiode
NiO/β-Ga2O3ヘテロ接合フォトダイオードの紫外線検出特性を評価した。UV照射強度の増加に伴って電流-電圧特性全体が逆方向電流側にシフトする変化を示した。分光感度特性では, β-Ga2O3側からの照射で290 nmに, NiO側からの照射で335 nmに最大感度をもつ。約150μs幅で照射したUV光パルスに追随して, 逆方向電流が応答することが確認できた。