11:00 AM - 11:15 AM
[20a-E201-8] Crystal Orientation of NiO Thin Films Formed on β-Ga2O3 Substrates
Keywords:Ga2O3, NiO, orientation
我々は、(100) β-Ga2O3基板上に形成した(001)配向NiO薄膜について既に報告している。本研究では、 (-201)面と(010)面のβ-Ga2O3基板上にゾル-ゲル法によりNiO薄膜を形成し、この両者間の結晶配向関係について総合的に検討を行った。β-Ga2O3基板が異なってもNiO [011] (100) ‖ β-Ga2O3 [001] (100)の位置関係が保たれてNiO配向膜が形成されていることが分かった。