[20p-B303-1~8] 7.2 Applications and technologies of electron beams

[20p-B303-6] High spatial coherence due to low beam emittance of NEA semiconductor photocathode in SP-TEM

〇Makoto Kuwahara^1,2, Hidefumi Asano², Toru Ujihara^1,2, Nobuo Tanaka¹, Koh Saitoh^1,2 (1.IMaSS, Nagoya Univ., 2.Dept. Eng., Nagoya Univ.)

Keywords:coherence, emittance, photocathode

我々はNEA表面を有する半導体光陰極を電子源に採用することで、電子線のスピンと時間を制御した透過電子顕微鏡（SP-TEM）の開発に成功した。さらに、干渉性の良い電子線発生が可能であることを実証した。平坦な電子放出面を持つ電子源であっても干渉性を有する理由として、初期エミッタンスの小ささが起因していることを定量的に証明した。これにより、カソード放出面上で横方向運動量広がりが小さいことが重要であることが分かった。