[20p-C303-1~11] 3.8 Optical measurement, instrumentation, and sensor

[20p-C303-3] Film inspection technique based on birefringence profiler with multi-wavelength

〇Akira Emoto¹, Takuma Ogawa¹, Takashi Fukuda² (1.Doshisha Univ., 2.AIST)

Keywords:birefringence, film inspection

我々はこれまでに、特殊な偏光依存性を示す回折格子を利用して、2次元の複屈折分布をイメージングする「複屈折プロファイラー」の開発を行ってきた。しかしながら、原反フィルムなどを全面的に検査できるほどの広範囲の測定領域の実現は難しい。そこで、測定領域をライン状にすることで、逐次搬送されていくフィルムを、多波長で同時に検査できることを見出された。