[20p-F104-1~11] 9.1 誘電材料・誘電体

[20p-F104-1] フォトルミネセンス測定による溶液法IGZO中の酸素空孔の定量

〇森本 貴明^1,3、落合 祐輔^1,3、福田 伸子³、大木 義路^1,2 (1.早大先進理工、2.早大材研、3.産総研FLEC)

キーワード：IGZO、酸素空孔、フォトルミネッセンス

溶液法IGZO薄膜トランジスタで電子散乱中心として働く酸素空孔の、フォトルミネセンス(PL)測定による検出を試みた。焼成温度の低下、あるいはGa比率の上昇により酸素空孔が増加するとPLピーク強度が増加することから、酸素空孔が検出可能であることが確認された。ここで、焼成温度が低くGa比率が高いほど酸素空孔が多いのは、低温ではGaが酸化せずIGZOの形成が不十分となるためと考えられる。