[20p-P4-1~40] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[20p-P4-5] エーテルを用いたプラズマ化学気相堆積過程の赤外分光計測

〇篠原 正典¹、冨永 泰佑¹、下村 勇登¹、猪原 武士¹、柳生 義人¹、大島 多美子¹、川崎 仁晴¹ (1.佐世保高専)

キーワード：多重内部反射赤外吸収分光法、エーテル、堆積過程

アモルファス炭素膜にさらなる機能を持たせることが必要と考え，原料とする分子の機能も加えた膜の形成を目指している。分子量の大きい分子を原料としたプラズマ化学気相堆積に注目して研究を進めてきた。今回はジイソプロピルエーテル((iC₃H₇)₂O)を原料として用いて，分子中の酸素，イソプロピル基がどのようにプラズマ中で反応するのかについて，多重内部反射赤外吸収分光法(MIR-IRAS)を用いて，調べたので報告する。