16:50 〜 17:20 [20p-E301-8] 塩素中性粒子ビームエッチングによるGaN HEMT高信頼化 〇菅原 健太1、岡田 政也1、市川 弘之1、井上 和孝1、大堀 大介2、寒川 誠二2,3 (1.住友電工、2.東北大流体研、3.東北大AIMR)