有馬健太

→ Google ScholarでKenta Arimaを検索

発表者・著者、共著者

2019年9月19日(木) 13:30 〜 17:00 B11 (B11)

シンポジウム(口頭講演)
| シンポジウム（technical)
| 界面ナノ電子化学『多様化する半導体ウェットプロセス』

[19p-B11-1~8] 界面ナノ電子化学『多様化する半導体ウェットプロセス』

13:30 〜 14:00

[19p-B11-1] SiとGe表面のウェットエッチングの新潮流：不動態化から加工まで

〇有馬健太¹ (1.阪大院工)