17:00 〜 17:15 △ [18p-C309-13] スパッタリング成膜中のレーザー効果によるZnO薄膜上のナノ粒子生成 〇(M2)若木 航1、三瓶 明希夫1、蓮池 紀幸1、鴨井 督2、比村 治彦1 (1.京工大、2.京府中技セン (現所属:京府ものづくり振興課))