13:30 〜 15:30 [19p-PB3-9] AlGaInN/AlGaN 2DEGヘテロ構造における電極金属によるコンタクト抵抗低減の検討 〇CHEN HENG1、斉藤 早紀1、原田 紘希1、江川 孝志1、三好 実人1 (1.名工大)