12:45 〜 13:00 [21p-B31-1] 塩化物系ガリウム希薄水溶液によるα型酸化ガリウム薄膜のミストCVD成長(II) 〇宇野 和行1、松本 一寿1、田中 一郎1 (1.和歌山大システム工)