16:00 〜 16:15 △ [18p-C309-9] MgOとCターゲットを用いたスパッタ成膜温度変化に対する透明導電膜の抵抗率と結晶性 〇宮澤 拓陽1、落合 勇太1、鈴木 尋之1、星野 渉1、後藤 みき1 (1.神奈川工大工)