16:15 〜 16:30 [19p-E304-10] ハーフインチサイズパッケージのレーザビア接続信頼性 〇居村 史人1,2、井上 道弘1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)