11:15 〜 11:30 [21a-E310-9] レーザ剥離技術を用いたGaN基板再生手法 田中 敦之1,2、〇伊ヶ崎 泰則1、天野 浩1,2,3,4 (1.名大未来材料・システム研究所、2.物材機構、3.名大赤崎記念研究センター、4.名大VBL)