14:15 〜 14:30 [21p-B31-7] トリハライド気相成長法によるa面sapphire基板上へのε-Ga2O3成長 〇江間 研太郎1、竹川 直1、後藤 健1、村上 尚1、熊谷 義直1 (1.東京農工大院工)