09:30 〜 11:30 [20a-PA4-8] H2/CH4 プラズマCVD モデルにおけるH2 希釈率がDLC 堆積速度に及ぼす影響の解析 〇(M2)小川 慎1、小田 昭紀1、太田 貴之2、上坂 裕之3 (1.千葉工大、2.名城大、3.岐阜大)