09:30 〜 09:45 △ [21a-E301-3] K2S2O8/H3PO4 混合溶液を用いた n-GaN のコンタクトレスエッチング 〇(D)渡久地 政周1、三輪 和希1、堀切 文正2、福原 昇2、成田 好伸2、吉田 丈洋2、佐藤 威友1 (1.北大量集センター、2.サイオクス)