13:15 〜 13:30 △ [18p-E214-1] ラマン分光法による酸化膜被覆プロセスの異なるSOI薄膜における熱伝導特性評価 〇竹内 悠希1、横川 凌1,2、富田 基裕3、渡邉 孝信3、小椋 厚志1 (1.明大理工、2.学振特別研究員 DC、3.早大理工)