11:15 〜 11:30 △ [19a-E304-10] 高密度電極接続を用いた三次元集積のための低背マイクロバンプ接合評価 〇三輪 侑紀1、李 晟豪2、梁 芮1、熊原 宏征1、木野 久志3、福島 誉史2、田中 徹1,2 (1.東北大院医工、2.東北大院工、3.東北大学際研)