15:15 〜 15:30 [21p-B31-10] ミストCVD法を用いたβ-Ga2O3ホモエピタキシャル成長とZnドーピング 〇永岡 達司1、西中 浩之2、吉本 昌広2 (1.トヨタ自動車、2.京工繊大)