17:45 〜 18:00 [20p-E203-15] 半導体検査用ピコ秒パルス可変DUVレーザの高出力化 〇宮田 憲太郎1、棚橋 晃宏1、茂原 瑞希2、志村 啓2、中山 伸一3、和田 智之1 (1.理研、2.日立ハイテク、3.メガオプト)