16:00 〜 18:00 [18p-PB5-22] 溶液塗布法によるAlドープZnO積層膜のシート抵抗と薄膜トランジスタの特性評価 〇大浦 紀頼1、高野 圭祐1、小山 政俊1、前元 利彦1、佐々 誠彦1 (1.大阪工大 ナノ材研)