Sri Ayu Anggraini

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発表者・著者、共著者

2019年9月19日(木) 09:30 〜 11:30 PB1 (第二体育館)

一般セッション(ポスター講演)
| 9 応用物性
| 9.1 誘電材料・誘電体

[19a-PB1-1~11] 9.1 誘電材料・誘電体

09:30 〜 11:30

▲ [19a-PB1-4] Effect of MgTa addition on the piezoelectric response of aluminum nitride thin films

〇Sri Ayu Anggraini¹、Masato Uehara¹、Kenji Hirata¹、Hiroshi Yamada¹、Morito Akiyama¹ (1.AIST)