09:30 〜 11:30 [21a-PA2-21] マグネトロンスパッタ法によるAZO薄膜へのZn添加方法の検討 〇清水 英彦1、岩野 春男1、川上 貴浩1、福嶋 康夫1、永田 向太郎1 (1.新潟大工)