09:30 〜 09:45 △ [20a-E312-2] ALD-Al2O3 2DHGダイヤモンドMOSFETsの微細化による高周波特性評価 〇(B)荒井 雅一1、久樂 顕1、今西 祥一朗1、堀川 清貴1、平岩 篤1、川原田 洋1,2 (1.早大理工、2.早大材研)