13:30 〜 15:30 [20p-PB1-12] ArイオンとArクラスターイオンビームによる金属膜と有機膜へのエッチングの影響 〇關 雅志1、仲村 和貴2、山本 紗矢香2、田中 博美2 (1.東芝テック、2.米子高専)