09:30 〜 11:30 [18a-PA5-7] オンチップ光回路へ向けた微結晶シリコンの光学特性評価 〇(M2)近藤 優一郎1、武井 亮平2、庄司 雄哉1、水本 哲弥1、亀井 利浩2 (1.東工大、2.産総研)