09:30 〜 11:30 [18a-PA6-9] 二周波重畳容量結合型プラズマ装置におけるファラデーカップを用いたイオンエネルギー分布の計測 〇三矢 晶洋1、森山 誠1、中原 尚哉1、鈴木 陽香1、豊田 浩孝1 (1.名大工)