13:45 〜 14:00 [18p-N304-3] パラメータ可変超短パルスレーザー加工装置によるCMCの加工 〇高田 英行1、奈良崎 愛子1、吉富 大1、鳥塚 健二1、小林 洋平2 (1.産総研、2.東大物性研)