16:00 〜 18:00 [18p-PB5-14] スパッタリング法によるSi,Snを用いたGa2O3へのn型ドーピング 〇藤田 実樹1、井上 洋輔2、長澤 凜太郎2、構 祐美子2、牧本 俊樹2 (1.一関高専、2.早大理工)