16:00 〜 18:00 [18p-PB5-6] ミストCVD法により作製されたα - (Alx Ga1-x)2O3薄膜の構造評価 〇(B)橋本 歩1、仲林 裕司2、川江 健3、山田 悟1 (1.石川高専、2.北陸先端大、3.金沢大学)