10:00 〜 10:30 [19a-B32-2] [プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演 ] LaAlSiOxのlayer-by-layerエッチング 〇大村 光広1、古本 一仁1、松田 和久1、佐々木 俊行1、酒井 伊都子1、林 久貴1 (1.東芝メモリ)