11:45 〜 12:00 [19a-E305-11] Si/Hf0.5Zr0.5O2の界面特性改善に向けたアニール条件の検討 〇田原 建人1、加藤 公彦1、トープラサートポン カシディット1、竹中 充1、高木 信一1 (1.東京大学)