14:30 〜 14:45 [19p-B11-3] ⅢⅤ族化合物半導体における水との表面反応メカニズム考察 〇西尾 賢哉1、大井上 昂志1、齋藤 卓1、萩本 賢哉1、岩元 勇人1、小川 祐一2、井田 純一2 (1.ソニーセミコンダクタソリューションズ、2.栗田工業)