14:00 〜 14:15 [19p-E207-4] 局所的な膜厚揺らぎによる高Q値Siナノ共振器の動作波長ばらつき 〇田中 捺美1、田中 健悟2、浅野 卓2、野田 進2、高橋 和1 (1.大阪府大院工、2.京大院工)