13:30 〜 15:30 [19p-PB3-14] ALD-SiO2/AlGaN/GaN MIS-HEMTの電気特性に及ぼす成膜後熱処理の効果 〇横井 駿一1、久保 俊晴1、江川 孝志1 (1.名工大)