09:15 〜 09:30 △ [20a-B11-2] 発光分光計測による電子エネルギー分布関数診断にむけた低気圧マイクロ波放電アルゴンプラズマの励起状態分布の解析 〇山下 雄也1、赤塚 洋2 (1.都立産業技術研究センター、2.東工大研究院)