神寳健太

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発表者・著者、共著者

2019年9月20日(金) 09:00 〜 12:15 B31 (B31)

一般セッション(口頭講演)
| 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」
| 21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[20a-B31-1~12] 21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

10:15 〜 10:30

[20a-B31-6] Ar+O₂+H₂スパッタ成膜によるIn–Ga–O薄膜の結晶性･電気特性制御

〇(M1C)神寳健太¹、是友大地¹、古田守¹、川嶋絵美²、霍間勇輝² (1.高知工科大、2.出光興産)