09:15 〜 09:30 [20a-C309-2] 酸素分圧変化によるHfO2:Y/Si薄膜の配向と結晶構造の制御 〇佐保 勇樹1、鎌田 大輝1、高田 賢志1、桐谷 乃輔1、吉村 武1、芦田 淳1、藤村 紀文1 (1.阪府大工)