11:00 〜 11:15 △ [20a-E301-8] SiO2膜中へのGa拡散制御によるゲート絶縁膜信頼性の改善 〇(M1)和田 悠平1、野崎 幹人1、細井 卓治1、志村 考功1、渡部 平司1 (1.阪大院工)