11:45 〜 12:00 [20a-E311-11] 不均一な界面欠陥分布がSiC MOSFETのチャネル移動度に及ぼす影響 ― 局所DLTS測定とデバイスシミュレーションに基づく検討 ― 〇山末 耕平1、山岸 裕史1、長 康雄1 (1.東北大通研)