09:30 〜 09:45 △ [20a-E311-3] リン処理を施したSiC MOSFETにおけるチャネル移動度のボディ層アクセプタ密度依存性 〇伊藤 滉二1、堀田 昌宏1,2、須田 淳1,2、木本 恒暢1 (1.京大院工、2.名大院工)