10:30 〜 10:45 [20a-E314-5] 光学イメージによる多結晶Siウエハの結晶方位解析に向けた研究 〇(M2)上別府 颯一郎1、加藤 光2、松本 哲也2、沓掛 健太朗3、小島 拓人2、工藤 博章2、宇佐美 徳隆1 (1.名大院工、2.名大院情報、3.理研 AIP)