09:30 〜 11:30 [20a-PA5-1] 斜入射スパッタリング法により形成される離散的柱状構造に対する基板凹凸の影響 〇本間 雅大1、細谷 昌史1、井上 泰志1、高井 治2 (1.千葉工大、2.関東学院大)