13:30 〜 13:45 [20p-E311-1] C面4H-SiCウェット酸化の特殊性と界面欠陥:EDMR分光からの知見 〇梅田 享英1、鹿児山 陽平1、富田 和輝1、阿部 裕太1、岡本 光央2、畠山 哲夫2、原田 信介2 (1.筑波大数物、2.産総研)