17:15 〜 17:30 [20p-E311-14] 4H-SiC 厚膜エピの高注入ライフタイムおよび拡散長推定 〇(M2)長屋 圭祐1、平山 貴史1、宮坂 晶2、児島 一聡3、加藤 智久3、奥村 元3、加藤 正史1 (1.名工大、2.昭和電工、3.産総研)