14:45 〜 15:00 [20p-E314-6] 対向ターゲットスパッタ法による高品質i-a-Si:H層の形成とシリコンヘテロ接合太陽電池への応用 〇白取 優大1,2、宮島 晋介1 (1.東工大工、2.JSPS特別研究員)