16:00 〜 18:00
〇米谷 玲皇1、上木 瞭太郎1、Penekwong Khemnat1、吉原 健太2、九里 伸治3、池田 克弥3、指田 和之3、吉田 賢一3、山田 一郎3、三田 吉郎2、割澤 伸一1 (1.東大院新領域、2.東大院工、3.新電元)
米谷 玲皇
発表者・著者、共著者
2019年9月20日(金) 16:00 〜 18:00 PA7 (第一体育館)
- 一般セッション(ポスター講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2019年9月20日(金) 16:00 〜 18:00 PA7 (第一体育館)
16:00 〜 18:00
〇米谷 玲皇1、上木 瞭太郎1、Penekwong Khemnat1、吉原 健太2、九里 伸治3、池田 克弥3、指田 和之3、吉田 賢一3、山田 一郎3、三田 吉郎2、割澤 伸一1 (1.東大院新領域、2.東大院工、3.新電元)