14:00 〜 14:15 [21p-B31-6] 水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE)法による(010)面β-Ga₂O₃基板上の幅7nm超薄膜高アスペクトナノウォールアレイ 〇大江 優輝1、川崎 祐生1、伊藤 大智1、森谷 祐太1、阿部 洸希1、木下 堅太郎1、富樫 理恵1、菊池 昭彦1,2 (1.上智大・理工、2.上智大フォトニクスリサーチセンター)