加藤正史

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座長等

2019年9月20日(金) 13:30 〜 17:35 E301 (E301)

シンポジウム(口頭講演)
| シンポジウム（technical)
| 窒化物半導体エッチング技術　〜高制御性と低損傷性を求めて〜

[20p-E301-1~9] 窒化物半導体エッチング技術　〜高制御性と低損傷性を求めて〜

加藤正史(名工大)、佐藤威友(北大)

2019年9月18日(水) 13:00 〜 18:00 N302 (N302)

一般セッション(口頭講演)
| 13 半導体
| 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[18p-N302-1~18] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

加藤正史(名工大)、佐藤威友(北大)

2019年9月19日(木) 09:00 〜 12:00 E301 (E301)

一般セッション(口頭講演)
| 13 半導体
| 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[19a-E301-1~9] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

加藤正史(名工大)